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Plasmaunterstütztes reaktives Magnetronsputtern: Eine Alternative zu IBS

Apr 16, 2026
Die Plasmaunterstützte Reaktive Magnetron-Sputtertechnologie (P.A.R.M.S.) erzeugt optische Beschichtungen mit vergleichbarer Leistungsfähigkeit, jedoch zu geringeren Kosten als die Ionensputtertechnologie, und bietet zudem Vorteile gegenüber Verdampfungs- und RF-Sputterverfahren.
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