Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Das Nanoquest III/IV Batch-Ionenstrahl-Ätzsystem von Intlvac Thin Film gehört zu den wirtschaftlichsten und vielseitigsten Produktionsplattformen für Ionenstrahl-Ätzen auf dem Markt. Für den Reinraumeinsatz konzipiert, bietet dieses System eine automatisierte Steuerung von Ionenstrahlenergie und Ätzwinkel und ermöglicht präzise Prozesse – von einfachen, inerten Ätzschritten bis hin zu komplexen, reaktiven Operationen.
Vielseitig und wirtschaftlich
Hervorragende Ätzgleichmäßigkeit
Das Nanoquest III/IV ist speziell für den Reinraumeinsatz ausgelegt, wobei das Ätzmodul im Servicebereich positioniert ist, um Kontaminationen auf ein Minimum zu reduzieren. Das Doppeltür-Design ermöglicht Wartung von beiden Seiten, und UHV-Designrichtlinien erlauben extrem niedrige Basisdrücke. Hochgeschwindigkeits-Vakuumpumpen sorgen für schnelles Abpumpen und reduzieren Gaskollisionen im Ionenstrahl.
Kammeraufbau: Edelstahlkonstruktion unter Verwendung UHV-kompatibler Techniken, außen elektropoliert.
Kühlsystem: Verschweißte Edelstahl-Kühlkanäle in netzartiger Anordnung für effiziente Wärmeableitung.
Zugang & Beobachtung: Vorder- und Rücktüren mit Scharnieren sowie mehrere Sichtfenster, einschließlich optionaler Load-Lock-Ansicht.
Vakuumleistung:
Vakuumpumpen-Optionen: Trockenpumpen mit optionaler Kryopumpe oder Magnetgelagerter Turbopumpe.
Highlights:
Präzise, reproduzierbare Ätzsteuerung wird mit dem optionalen Sekundärionen-Massenspektrometrie-System (SIMS) erreicht.
Standardfunktionen:
Das LabVIEW-basierte Steuerungssystem bietet eine vollständige, intuitive Kontrolle über eine grafische Benutzeroberfläche. Umfassende Automatisierungssequenzen beinhalten:
Ob beim Ätzen komplexer Strukturen oder bei hohen Stückzahlen – das Nanoquest III/IV überzeugt mit:
Das Nanoquest Pico bietet die Leistungsfähigkeit und Flexibilität, die für hochentwickelte Dünnschicht-Ätzanwendungen erforderlich sind – und das in einem kompakten, laborfreundlichen Formfaktor.
Das Nanoquest III Ionenstrahl-Ätzsystem kombiniert eine wassergekühlte, rotierende Bühne, eine 16-cm-RF-Ionenquelle, eine leicht zugängliche Edelstahl-Vakuumkammer, ein kryogenes Hochvakuumpumpsystem, automatisches Abpumpen und Belüften, Druckmessung vom Atmosphärendruck bis ins Hochvakuum, Massendurchflussregler, Kammergehäuse und eine elektronische Steuerkonsole.
Für den Reinraumbetrieb ausgelegt, hält das Nanoquest III das Ätzmodul im Servicebereich des Reinraums. Systemkomponenten wie Shields und andere wartungsrelevante Teile sind im Servicebereich leicht zugänglich. Ein Doppeltür-Ätzmodul ermöglicht Wartung von beiden Seiten der Kammer. UHV-Designrichtlinien stellen sicher, dass Ätzmodul und Load-Lock-Kammer sehr niedrige Basisdrücke erreichen. Hochgeschwindigkeits-Vakuumpumpen sorgen nicht nur für schnelles Abpumpen, sondern reduzieren auch Gaskollisionen im Ionenstrahl.