自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac,我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术,这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验,Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中,您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应,次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
Intlvac Nanochrome™ IV UV VIS 离子辅助沉积系统 是精密光学镀膜技术领域的最新创新成果。该系统专为卓越性能而设计,能够通过 电子束蒸发 结合 离子辅助 并在 光学监控 下运行,实现复杂光学滤光片的高精度制备。
系统支持实时再优化控制,也可按标准沉积流程操作,确保每次镀膜均具备优异的精度与稳定性。
Nanochrome™ IV UV VIS 是首款采用新一代 CTI 可变速低温泵 的量产平台,提供无与伦比的性能与效率。
系统配备带有双轴旋转功能的行星转台及五个 12 英寸基片托架,实现仅 2% 的基线膜厚均匀性。每个行星托架可容纳一片 12 英寸基片,或多片较小基片,在每个工艺循环中最大化镀膜产能。
Nanochrome™ IV UV VIS 系统 以其尖端技术与人性化设计重新定义精密光学镀膜系统标准,在各类应用中均能实现卓越性能与稳定品质。
Nanochrome™ IV UV VIS 离子辅助沉积系统 可通过 电子束蒸发 结合 离子辅助 并在 光学监控 下实现实时优化或标准控制操作,用于制备复杂光学滤光片。
其 宽带光学监测系统 可在反射或透射模式下实现自动化工艺控制。
先进的沉积供给组件 提供对工艺运行的精确控制,并实现高达 275°C 的温度管理,确保无与伦比的稳定性与性能。