Die Technologie des Plasmagestützten Reaktiven Magnetronsputterns (P.A.R.M.S.) ermöglicht die Herstellung optischer Beschichtungen mit einer Leistungsfähigkeit, die mit ionenstrahlgesputterten Schichten vergleichbar ist – jedoch zu geringeren Kosten – und bietet zudem Vorteile gegenüber Verdampfungs- sowie HF-Sputterverfahren.Das reaktive Magnetronsputtern zeichnet sich durch eine hohe Gleichmäßigkeit über große Flächen und eine für...
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