自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac，我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术，这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验，Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中，您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应，次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
腔体内外表面均经过机械加工与电解抛光处理，最大限度地减少表面积，以缩短抽真空时间并降低水汽背景。系统配备三个 Pyrex 观察窗，其中两个带有保护玻璃盖片。镀膜材料与观察窗隔离，而正对电子束蒸发枪的观察窗配备潜望镜与偏振衰减组件，可在沉积过程中实现实时观察。
腔体顶部设有多种引出端口，包括一套 2.0 英寸中空轴铁磁流体旋转引出装置，并集成光学窗口。腔体侧面与底部还预留额外端口，为未来应用提供灵活性。
该系统专为实现卓越性能而设计，非常适用于 长程反应溅射、电子束蒸发 与 热蒸发 等先进工艺，可在高精度与高可靠性的条件下制备高质量薄膜。