自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac,我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术,这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验,Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中,您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应,次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
研发与原型设计的全能型 PVD 平台
Intlvac Nanochrome™ Pico 是一款功能全面的物理气相沉积 (PVD) 研发与原型设计平台。它专为灵活性而设计,支持广泛应用,包括:电子束蒸发用于光刻剥离工艺、光学干涉滤波器、多层阻隔涂层以及 透明导电氧化物 (TCOs)。
凭借紧凑的占地面积和16英寸D形腔体,NC Pico 可轻松集成到任何实验室环境。其模块化设计使用户能够在不同工艺之间快速切换,例如向上溅射或向下溅射。
此外,NC Pico 可无缝集成预抽真空 (Load-Lock) 转移系统,支持从大气到真空,或在多个相连的 Pico 腔体间灵活切换。这一特性在针对特定材料类型(如金属薄膜或氧化物)的专用系统中尤其有价值。
Nanochrome™ Pico 将灵活性、创新性与精确性完美结合,是先进PVD 研发与原型设计的理想选择。