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等离子体辅助反应磁控溅射:离子束溅射 (IBS) 的替代方案

1月 13, 2025
等离子体辅助反应磁控溅射(P.A.R.M.S.)技术可实现与离子束溅射(IBS)相当的光学薄膜性能,同时具备更低的成本优势,并在工艺效率和可扩展性方面优于蒸发沉积和射频溅射等传统技术。
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